長春國科精密光學技術有限公司上海分公司致力于光刻機照明系統的研發、制造和技術服務。上海分公司在復雜非成像光學系統整體設計與仿真、深紫外激光光束整形與控制、照明光場均勻化與校正、深紫外激光脈沖能量探測等領域的技術水平處于國內領先地位。上海分公司長期從事光機電算一體化技術、儀器設備的研發與產品化,尤其在深紫外光學技術方面,擁有豐富的技術經驗。
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